AMC空氣分析污染物監(jiān)測(cè)獵戶座 3100S 系統(tǒng): 完善的空氣分子污染(AMC)監(jiān)測(cè)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)空氣分子污染(AMC)對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程尤為重要?？焖俦O(jiān)測(cè)、報(bào)警、極低濃度測(cè)量、寬測(cè)量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。
 

　　AMC在線監(jiān)測(cè)的原理是利用空氣質(zhì)量傳感器對(duì)大氣中的微量污染物進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和分析，根據(jù)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和報(bào)警。操作流程如下：
 

　　1、空氣采集：采用專(zhuān)業(yè)的氣采系統(tǒng)對(duì)大氣中的微量污染物進(jìn)行采集。
 

　　2、傳感器監(jiān)測(cè)：利用空氣質(zhì)量傳感器對(duì)采集的空氣樣品進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和分析。
 

　　3、數(shù)據(jù)處理：將監(jiān)測(cè)到的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和分析，得出相關(guān)的數(shù)據(jù)結(jié)果。
 

　　4、報(bào)警處理：根據(jù)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行報(bào)警，提醒企業(yè)進(jìn)行相應(yīng)的環(huán)保和安全措施。