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潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內(nèi)部來自建筑材料釋出、設(shè)備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設(shè)備維護(hù)修理時(shí)散發(fā)等，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

增強(qiáng)離子遷移譜氣體分析儀可提供達(dá)100 FWHM的分辨率，足以分辨異構(gòu)體成分。SIMS的一大優(yōu)勢是可以使用環(huán)境大氣作為緩沖氣，這一優(yōu)勢就把使用成本減低為零。 SIMS儀器的離子遷移譜技術(shù)通過電暈放電（CD）電離源提升了靈敏度。

煤自燃束管監(jiān)測基于紅外光聲光譜技術(shù)，具有測量精度?、檢測限低、實(shí)時(shí)性好、原位在線、?效測量等優(yōu)點(diǎn)， 可作為煤自燃大樣實(shí)驗(yàn)臺(tái)和小樣實(shí)驗(yàn)臺(tái)監(jiān)測系統(tǒng)，也可為煤火災(zāi)害消防及火災(zāi)科學(xué)等多個(gè)方向的科學(xué)研究提供實(shí)驗(yàn)條件和煤礦?產(chǎn)提?效率。

AMC監(jiān)測快速監(jiān)測、報(bào)警、極低濃度測量、寬測量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。

電池?zé)崾Э乇O(jiān)測是指通過各種傳感技術(shù)和數(shù)據(jù)分析手段，實(shí)時(shí)監(jiān)控電池的狀態(tài)，以便在電池發(fā)生熱失控之前及時(shí)發(fā)現(xiàn)并采取相應(yīng)的措施。