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半導體潔凈室氣體分析監(jiān)測系統(tǒng)通過污染物源頭控制、傳播控制，實時監(jiān)控污染物濃度并結合多級過濾器以及新風系統(tǒng)來實現(xiàn)，持久監(jiān)測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預防過濾器突發(fā)性壽命減少等。

煤自燃束管監(jiān)測特點：粉塵過濾器、單管、束管、分路箱、抽?泵、?體采樣控制柜、監(jiān)控微機、懸臂梁?克風光聲光譜多?體分析儀、熱導多?體分析儀、打印輸出設備、網(wǎng)卡、系統(tǒng)軟件組成。

空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)快速監(jiān)測、報警、極低濃度測量、寬測量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應等是半導體工業(yè)要求之一。深紫外光刻工藝特別關注氨、胺類、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸類等濃度測量，當這些氣體與化學放大光刻膠反生反應 時，將深深的影響半導體器件質量。

潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內部來自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設備維護修理時散發(fā)等，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

煤自燃束管監(jiān)測基于紅外光聲光譜技術，具有測量精度?、檢測限低、實時性好、原位在線、?效測量等優(yōu)點， 可作為煤自燃大樣實驗臺和小樣實驗臺監(jiān)測系統(tǒng)，也可為煤火災害消防及火災科學等多個方向的科學研究提供實驗條件和煤礦?產(chǎn)提?效率。